| SB130[BCD1370HP] MIMCAP중 cmm만 사용 공지 | 2024.10.10. 13:20 | |||||||||||||||||||||||||
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이종행 (pe****)
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SB130 (BCD1370HP) 공정에서 CAP에 대한 사용 제한이 있어 공지합니다.
공정에서 Recipe의 단일화를 요청으로 7종 중에 '1종류의 MIMCAP만 사용 가이드'를 받아 부득이 하게 1종류를 설정하기로 하였으며, 사용 활용성 측면에서 cmm(MET4-5)만 사용하는 것으로 하겠으니 설계자 분들의 양해를 바랍니다.
cmm만 사용, 이외의 cmm23,cmm34,stcmm,cmmh, cmmh34,vnm234, tw_cld, tw_cmd, tw_cmd40, tw_chd40은 사용 불가
감사합니다.
### 참조 : BCD1370HP Capacitor
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